공공뉴스=강현우 기자 네덜란드를 국빈 방문 중인 윤석열 대통령이 네덜란드의 반도체 장비기업 ASML 본사를 방문했다. 윤 대통령은 외국 정상으로는 처음으로 ASML 내 클린룸(미세먼지와 세균을 제거한 작업실)을 찾았다.

ASML은 최첨단 반도체 제작에 반드시 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. 반도체 업계에서 ‘슈퍼 을(乙)’로 통한다.

윤 대통령은 ASML의 노광장비를 이용해 생산된 반도체가 AI, 5G, 모빌리티 등 4차 산업혁명의 강력한 동력이 되고 있다고 평가하며 양국 기업의 투자·협력 노력을 환영했다.

윤 대통령은 12일(현지시각) 오후 네덜란드 벨트호벤에 위치한 ASML 본사를 찾아 이 같이 밝혔다. 

이 자리에는 빌렘 알렉산더 네덜란드 국왕과 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장, 피터 베닝크 ASML CEO가 동행했다. 

ASML은 인공지능, 스마트폰 등에 사용되는 최첨단 반도체 제조에 사용되는 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. ASML의 EUV 노광장비는 7나노미터(㎚) 이하 초미세 공정에 반드시 필요하며, 해당 장비 확보가 첨단 반도체 생산 능력과 수율로 직결된다.

하지만 생산 가능 수량이 통상 연간 40개 안팎인 까닭에 공급이 수요를 따라가지 못하는 상황이 됐다. ASML이 ‘슈퍼 을’로 불리는 이유다.

이날 양국 정상은 ASML과 협력 관계에 있는 한국, 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업 및 기관들과 간담회를 개최했다.

간담회에는 삼성전자, SK하이닉스, ASML, ASM(네덜란드, 증착장비), Zeiss(독일, 광학시스템), IMEC(벨기에, 반도체 연구기관) 대표 등이 참석했다.

대통령실에 따르면, 이 자리에서 윤 대통령은 “그간 ASML이 선도한 기술혁신이 전 세계 4차 산업혁명의 강력한 동력이 되고 있다”고 평가했다.

이어 “ASML, ASM 등 네덜란드의 반도체 기업들이 한국에 생산, R&D(연구·개발), 인재 양성을 위한 시설을 새로 건설하는 등 투자를 확대해 온 데 대해 감사하다”며 사의를 표했다.

간담회 직후 양국 정부와 기업 등은 3건의 반도체 분야 협력 MOU를 체결했다. 

우선 삼성전자는 ASML과 함께 1조원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 ‘차세대 반도체 제조기술 R&D센터’를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다. 

장비기업인 ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다. 

또한 SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술개발 MOU’를 체결했다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우, 전력 사용량은 20% 줄어들고 연간 165억원의 비용이 감축될 것으로 기대된다.

마지막으로 한국 산업통상자원부와 네덜란드 외교부는 최첨단 반도체 생산장비를 활용해 양국 대학원생에게 현장 학습 기회를 제공하는 ‘한-네덜란드 첨단반도체 아카데미’를 신설하는 협력 MOU를 체결했다.

이후 양국 정상은 ASML의 클린룸을 함께 방문하고 차세대 EUV 장비 생산 현장을 시찰했다.

윤 대통령과 빌렘 알렉산더 국왕이 방문한 클린룸은 지금까지 전체 모습이 공개된 적 없는 차세대 EUV 생산 현장이다. 윤 대통령은 ASML 클린룸을 방문한 최초의 외국 정상이 됐다.